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                                    當前位置:首頁產品中心半導體超聲掃描測量

                                    Laes620超聲掃描顯微鏡

                                    產品參數 Details在線訂購

                                    一、介紹:

                                    1、隨著中國半導體材料行業開始發揚國產國造,自力更生的“南泥灣精神”,朝著精細化、高端化、尖端化自給自足的方向發展。

                                    2、半導體材料檢測是對半導體材料的特性參數進行分析測試的技術。

                                    3、由于半導體材料種類繁多,加工工藝復雜,形態各異,技術難度高,這就需要我們通過對半導體材料的特性參數進行測定,真實的反映半導體材料質量情況,掌握其關鍵參數的生成工藝,從而指導研發技術的更新迭代。

                                    4、超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測設備。

                                    5、在不破壞產品的前提下,通過超聲檢測產品內部的質量,比如芯片焊接缺陷、封裝半導體分層缺陷、電觸頭焊接缺陷等,可以實現自動檢測和分析。

                                    6、為了檢測電觸頭的焊接質量,通常有破壞性檢測和非破壞性檢測兩種方案。

                                    7、破壞性檢測主要包括拉伸試驗、沖擊試驗、電壽命試驗等方法。這種檢測方案的優點在于,可以直觀地獲得電觸頭的物理和電學性能參數。其缺點在于,由于需要破壞電觸頭,因此不能進行大批量檢測。

                                    8、非破壞性檢測主要包括超聲檢測、電磁檢測、紅外檢測等。其中超聲檢測技術成熟,具有檢測速度快、對工件無損壞等特點,是一種在醫療、石油、汽車、軍事等領域得到廣泛應用的檢測方法。

                                    9、因此,將超聲檢測方法應用于電觸頭焊接質量檢測中,對于擴大檢測抽樣范圍,提高質量管控能力,具有非常重要的價值。


                                    二、應用領域

                                    1、半導體芯片封裝分層檢測

                                    序號

                                    測量能力

                                    能力描述

                                    1

                                    標準塊測量誤差

                                    測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。

                                    2

                                    工件測量誤差

                                    選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調整增益22dB、26dB、30dB進行檢測,三次檢測結果釬著率差值在±1%以內。

                                    3

                                    厚度測量范圍

                                    Epoxy材料

                                    Cu材料

                                    0.5 ~2mm50MHz探頭)

                                    0.5 ~1.4mm25MHz探頭)

                                    1.0 ~4.0mm15MHz探頭)

                                    1.2 ~3.7mm15MHz探頭)

                                    注:根據客戶工件的材料和厚度選配探頭

                                    4

                                    缺陷識別能力

                                    在測量系統厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米15MHz、25MHz探頭)和0.07毫米50MHz探頭)。

                                    2、金剛石測厚及內部缺陷檢測

                                    序號

                                    測量能力

                                    能力描述

                                    1

                                    標準塊測量誤差

                                    測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。

                                    2

                                    工件測量誤差

                                    超聲檢測和影像儀檢測對比

                                    等距取10個以上檢測點,90%點的誤差在±0.05mm內。

                                    超聲檢測重復測量

                                    10個檢測點,重復測量3次,90%點的誤差在±0.05mm內。

                                    3

                                    厚度測量范圍

                                    復合片

                                    石油片

                                    金剛石材料

                                    硬質合金材料

                                    金剛石材料

                                    0.3 ~3mm50MHz-75MHz探頭)

                                    0.8 ~6mm50MHz-75Mhz探頭)

                                    0.3 ~3mm50MHz探頭)

                                    注:根據客戶工件的材料和厚度選配探頭

                                    4

                                    缺陷識別能力

                                    在測量系統厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米50MHz探頭)。

                                    3、水冷散熱板焊接缺陷檢測

                                    序號

                                    測量能力

                                    能力描述

                                    1

                                    標準塊測量誤差

                                    測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。

                                    2

                                    工件測量誤差

                                    指定的釬焊水冷板重復掃描至少五次,評估每次掃描釬著率波動范圍小于5%

                                    3

                                    厚度測量范圍

                                    Al材料:

                                    0.6 ~20mm10MHz-50MHz探頭)

                                    注:根據客戶工件的材料和厚度選配探頭

                                    4

                                    缺陷識別能力

                                    在測量系統厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.3毫米25MHz探頭)。

                                    4、低壓電器焊接缺陷檢測

                                    序號

                                    測量能力

                                    能力描述

                                    1

                                    標準塊測量誤差

                                    測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。

                                    2

                                    工件測量誤差

                                    選取合金銀觸點工件,采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調整增益22dB、26dB、30dB進行檢測,三次檢測結果釬著率差值在±1%以內。

                                    3

                                    厚度測量范圍

                                    Ag材料

                                    Cu材料

                                    0.3 ~1.5mm25MHz探頭)

                                    0.5 ~1.4mm25MHz探頭)

                                    1.0 ~4.0mm15MHz探頭)

                                     1.2 ~3.7mm15MHz探頭)

                                    注:根據客戶工件的材料和厚度選配探頭

                                    4

                                    缺陷識別能力

                                    在測量系統厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米15MHz、25MHz探頭)和0.22毫米10MHz探頭)。

                                    三、軟件功能

                                    序號

                                    軟件功能

                                    功能描述

                                    1

                                    手動掃描

                                    可以通過手動的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結合面結合情況,并以釬著率、缺陷面積等數值的形式顯示檢測結果。

                                    2

                                    探頭與C掃圖像對位

                                    可通過點擊C掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。

                                    3

                                    手動分析

                                    對生成的C掃圖片可以進行各種編輯,包括加框(確認有效分析區域),測距,修改閾值,圖片剪裁,弧面補償等。

                                    4

                                    多種掃描模式

                                    1A掃描:查看超聲反射或透射波形;

                                    2 C掃描:對焦深度上沿X-Y平面掃描并成像;

                                    3 T掃描:安裝透射探桿,執行穿透掃描;

                                    4 區域掃描:可自定義檢測區域,并對檢測區域進行掃描;

                                    5 斷層掃描:在指定的多種深度自動多次執行C掃描并成像;

                                    6 批量掃描:對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測。

                                    5

                                    報告自動生成

                                    可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。

                                    6

                                    探頭管理

                                    可對不同型號探頭進行更換或編輯。

                                    7

                                    一鍵自動校準

                                    可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統能量變化,能實時校準系統漂移,保證檢測結果的準確性和穩定性。

                                    8

                                    不銹鋼標準強度

                                    系統自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS“STainless Steel Standard”的縮寫),其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。

                                    9

                                    缺陷檢測能

                                    焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區域和良好區域。

                                    可對缺陷尺寸和面積進行自動統計和計算。也可根據客戶的要求,提供有償定制開發服務。

                                    10

                                    厚度檢測

                                    金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測。

                                    11

                                    密度檢測

                                    粉末冶金原材料密度分布檢測。

                                    12

                                    聲速檢測

                                    聲音在被測材質中的飛行速度檢測。

                                    四、技術參數

                                    序號

                                    特性

                                    技術參數

                                    備注

                                    1

                                    整機尺寸

                                    1000mm×900mm×1400mm

                                    2

                                    水槽尺寸

                                    620mm×650mm×150mm

                                    3

                                    有效掃描范圍

                                    500mm×340mm×100mm

                                    4

                                    最大掃描速度

                                    600mm/s

                                    5

                                    圖像推薦分辨率

                                    14000um

                                    6

                                    定位精度

                                    X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm

                                    7

                                    重復定位精度

                                    X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm

                                    8

                                    上下水

                                    水壓注水,水泵排水

                                    五、主要配置

                                    序號

                                    名稱

                                    規格

                                    備注

                                    1

                                    掃描系統

                                    X軸:直線電機驅動;Y軸:伺服電機驅動;Z軸:步進電機驅動

                                    2

                                    水槽

                                    620mm×650mm×150mm

                                    3

                                    超聲發射、接收器

                                    DPR500,帶寬500MHz

                                    4

                                    高速數據采集卡

                                    采樣頻率1G

                                    5

                                    超聲探頭

                                    75MHz0.5in探頭一只

                                    6

                                    工控機

                                    i5處理器、內存16GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統

                                    7

                                    顯示器

                                    27"液晶顯示器

                                    8

                                    檢測軟件

                                    超聲無損檢測軟件V2.0

                                    六、易損件(選配)

                                    序號

                                    產品名稱

                                    規格型號

                                    單位

                                    品牌

                                    備注

                                    1

                                    探頭升降機構連接片(陶瓷片)

                                    一盒8

                                    PCS

                                    Laes

                                    2

                                    防護罩殼撐桿

                                    PCS

                                    Laes

                                    3

                                    探頭清潔器帶海綿基座

                                    PCS

                                    Laes

                                    4

                                    探頭線(短)

                                    PCS

                                    Laes

                                    5

                                    探頭線(長)

                                    PCS

                                    Laes

                                    6

                                    超聲探頭

                                    頻率 75MHz 焦距 0.5 英寸

                                    PCS

                                    Laes

                                    七、參照標準

                                    1、GB/T 18694-2002   探頭及其聲場的表征

                                    2、JB/T4008-1999           液浸式超聲波直射探傷方法

                                    3、JB/T 9214-1999   A 型脈沖反射式超聲波探傷系統工作性能測試方法

                                    4、YB/T 144-1998       超聲波探傷信號幅度誤差測量方法

                                    八、安裝環境條件要求

                                    1、安裝方案基于空間占用最小化和維護/服務條件最優化的需要,保證在設備周圍留有500mm的空間,可以方便工作人員進行操作、維護。

                                    2、電腦桌:用戶需自行配備電腦桌,用于安放鼠標、鍵盤及顯示器。

                                    3、電力供應:工作電源:220V±10%/50Hz,1~2KW 設備需配有穩壓器,有接地線(接地10V以內)、有帶地線的插座,以保證電壓穩定。

                                    4、水源:設備需要自來水、去離子水或者純凈水,并且需要定期更換。水溫要求:15~30℃

                                    5、環境相對濕度:35℃≤50%RH

                                    6、環境溫度要求:20~35℃

                                    7、 周邊環境:

                                    (1)不要放在強磁場、電磁波和產生高頻設備的旁邊。

                                    (2)減少振動,10Hz以下振動的最大振幅 0.7μm PP以下

                                    (3)灰塵少、濕氣少,沒有腐蝕性氣體的地方。

                                    (4)電源的變化,限制到最小。

                                    (5)為了防止震動的損壞,四周一定要固定。

                                    8、用電設備要求接地可靠:接地電阻小于4歐姆


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